氦質譜檢漏儀是一種靈敏度很高且常用的檢漏技術儀器。在真空設備泄漏情況的檢查之中也有專業的儀器保證了檢查效果的穩定性，而且氦質譜檢漏儀的線路檢測能力得到了更好的提升，該所產品也在我國具體泄漏問題的解決上帶來了更多的措施，在我國真空問題的檢查之上這種氦質譜檢漏儀憑借著其強大的優勢獲得了更好的應用，今天來了解下氦質譜檢漏時的誤差來源有哪些，以便更好地降低或消除測量誤差。

　　檢漏儀氦質譜檢漏時，產生測量誤差的主要來源主要包括以下幾個方面：

　　1.氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差；

　　2.進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算，這時也會產生漏率測量誤差；

　　3.所用標準漏孔的標稱漏率有誤差；

　　4.氦質譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差；

　　5.校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同；

　　6.檢漏儀的性能不穩定；

　　7.氦氣純度不穩定或存在誤差；

　　8.后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質、責任心、技術水平以及工作經驗等。