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愛發科真空泵質譜計的種類很多，可根據質量分析系統的工作原理來表征和命名。如：磁偏轉質譜計、回旋質譜計、飛行時間質譜計、射頻質譜計、諧振感應質譜計和四極質譜計等。

愛發科真空泵質譜計的主要性能參數如下：

(1)質量范圍：在滿足一定分辨能力的前提下，質譜計所能分析的質量數范圍叫做該質譜計的質量范圍。

(2)分辨能力和分辨本領：儀器的分辨能力是儀器對給定質量M的離子的分離能力的一種量度，由峰寬△M表示。峰寬是在一定峰高處測量。

儀器的分辨本領是質量與分辨能力之比，即M/△M。圖25示出了分辨本領的兩種定義(△M/0.1h和△M/0.5h)。