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新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX180 使用了*的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。 模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。英國愛德華EPX180L干式真空泵維修保養

iH 干泵 Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵，使用創新的懸臂式轉子、爪式和羅茨設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和*封閉的水冷卻電機。英國edwards愛德華iH1800干式真空泵維修

iH 干泵 Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵，使用創新的懸臂式轉子、爪式和羅茨設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和*封閉的水冷卻電機。英國愛德華半導體干式真空泵iH1000維修

Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵，使用創新的懸臂式轉子、爪式和羅茨設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和*封閉的水冷卻電機。英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修

Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。愛德華edwards半導體iH160干式真空泵維修