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干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術，有效利用壓縮熱，實現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機種都能適用愛發(fā)科干式真空泵 HR/UR Series維修保養(yǎng)

干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術，有效利用壓縮熱，實現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機種都能適用愛發(fā)科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養(yǎng)

干泵GR series是以有實際和信賴的LR,HR系列為基礎，面向一般產業(yè)用途設計的簡單構造泵。日本愛發(fā)科GR系列干式真空泵維修保養(yǎng)GR60A

干泵CR series Ver.B是獲得規(guī)格（CE,cTUVus）的空冷式羅茨型泵。運轉時排氣室內不使用油，轉子和汽缸也無接觸，可長時間穩(wěn)定運轉。愛發(fā)科真空泵、干泵CR Series Ver.B維修

用途 ● 鍍膜、濺射、離子鍍 ● 真空熱處理爐、溶解爐 ● 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣