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產品名稱: 愛發科干式真空泵 HR/UR Series維修保養
產品時間: 2019-02-08
產品型號: HR60 HR90 HR180 HR300
產品特點: 干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術，有效利用壓縮熱，實現了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護保養性能以及減少了噪音，全機種都能適用愛發科干式真空泵 HR/UR Series維修保養

愛發科干式真空泵 HR/UR Series維修保養 的詳細介紹

干泵
LR/HR/UR Series

干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術，有效利用壓縮熱，實現了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護保養性能以及減少了噪音，全機種都能適用。關于CEO-SHOCK的詳細信息，請從關聯情報中瀏覽。

特點

  • LR Series: 低溫領域均熱化
    針對于惰性氣體的排氣增加,特別是為了提高處理能力,縮短排氣時間
  • HR Series/UR Series: 高溫領域均熱化
    CVD、蝕刻法等發生時，升華性排氣物質的可以以氣體狀態排出
  • 1000msec以內的瞬停對策
  • 可以對應CE愛發科干式真空泵 HR/UR Series維修保養

用途

  • 活性氣體（CVD、干腐蝕等）
  • 惰性氣體排氣（濺射、蒸著、熱處理等）
  • 排氣時間縮短（LR Series)
  • 粉體發生時的過程排氣（Si單結晶提高等）
  • 輔助排氣泵（漩渦分子泵、機械泵的輔助排氣）

式樣

愛發科干式真空泵 HR/UR Series維修保養?

型名LR/HR
60		LR/HR
90		LR
180		LR
421		LR
421-T		UR
421-T		LR/HR
300		LR/HR
600		UR
600		LR/HR
1200		UR
1200
使用泵DRPLR/HR
60		LR/HR
90		LR
180		LR
421		LR
421-T		UR
421-T		LR/HR
60		LR/HR
90		UR
90		LR/HR
90		UR
90
MBP－PRC-003APRC-006APRC-012A
大排氣速度m3/h50Hz6211218344044041035965365310121012
60Hz801262373657011051
L/min50Hz103018603100733373336833598010900108831690016867
60Hz13332100395060801170017500
到達壓力Pa5.00.67
大排氣圧力（吸入圧力）大氣壓 *
大排氣口圧力（排出圧力）1Pa～大氣壓
吸氣口（CE式樣）VG50
(KF40)		VG80(KF50)VG100VG80(KF80)VG100(KF100)
排氣口KF40VG50KF40
干泵表面處理○○○○○○○○○○○
機械增壓泵表面處理------○ *○ *○○ *○
質量kg180245335415251371403
電力三相VAC
(Hz)		200（50/60), 220(60)180～240/380～440（50/60）200（50/60), 220(60)
電流值定常值A6.9/7.111.218.920.8237.0/7.812.3/12.916.413.7/15.418.9
大值A7.0/7.311.820.648.552.59.6/8.119.0/13.817.324.2/18.922.4
冷卻水一次圧力MPa0.1 to 0.30.2 to 0.50.1 to 0.3
冷卻水出入口差圧MPa＞0.1＞0.2＞0.1
冷卻水流量L/min＞5.0＞4.0＞5.0＞5.0
清洗氣體一次圧力MPa0.1 ～ 0.5
二次圧力MPa0.05 ～ 0.1
N2清洗/td>軸SLM5
氣鎮SLM0～45なし*10～450～1950～45

*下單時請使用電壓。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200、請不要在200Pa以上的吸入圧下連續運轉。泵的溫度異常時聯鎖會運作。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可以選擇是否表表面處理。
*吸氣口為JIS法蘭盤是標準。CE對應場合為NW型。
*1 用途可用的氣鎮式樣也可以報價。

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型名LR1800UR1800LR3601LR3601-TTLR3601-RLR3601-TR(TTR)UR3601-TT
使用泵DRPLR180UR180LR421LR421-TLR421LR421-TUR421-T
MBPPRC-018APRC-036CPRC-036C(-T）PRC-036DPRC-036D（D-T）PRC-036C-T
大排氣速度m3/h50Hz1701170132002700
60Hz1784
L/min50Hz28350283505333345000
60Hz29700
到達壓力Pa0.67
大排氣圧力（吸入圧力）大気圧 *
大排氣口圧力（排出圧力）1Pa～大気圧
吸氣口 *VG150(KF100)VG150
排氣口KF40KF50
干泵表面處理○○○○○○○
機械增壓泵表面處理○ *○×T：×　TT：○×TR：×　TTR：○○
質量kg553660720660720720
電力三相VAC(Hz)200（50/60),220(60)180～240/380～440（50/60）
電流值定常值A21.429.23135.439.8
大値A39.834.958.48268.3
冷卻水一次圧力MPa0.1 to 0.30.2 to 0.5
冷卻水出入口差圧MPa＞0.1＞0.2
冷卻水流量L/min＞5.0＞4.0＞5.0
清洗氣體一次圧力MPa0.1 ～ 0.5
二次圧力MPa0.05 ～ 0.1
N2清洗軸SLM5
氣鎮SLM0～450～195なし*10～45なし*10～450～195

*下單時請使用電壓。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200、請不要在200Pa以上的吸入圧下連續運轉。泵的溫度異常時聯鎖會運作。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT的MBP可以選擇是否表表面處理。
*吸氣口為JIS法蘭盤是標準。CE對應場合為NW型。
*1 用途可用的氣鎮式樣也可以報價。

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