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特長
 ● 潔凈的真空
 ● 腔體內沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能
 ● 能在高吸入壓強下運作
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用途

 ◆ 照明、電子、光學、半導體
 ◆ 鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入
 ◆ 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
 ◆ 真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐
 ◆ 分析儀器、檢漏設備、CO2激光設備
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技術參數

外形尺寸圖

抽氣速率曲線