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產品名稱: 英國愛德華羅茨真空泵EH1200C 230/460V維修
產品時間: 2019-03-07
產品型號: EH1200 EH1200C
產品特點: EH 機械增壓泵Edwards EH 機械增壓泵采用*的液力驅動,可實現高效的動力傳送,在經濟性、性能和緊湊性方面擁有優勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合,這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動,從而減少總體抽氣時間。英國愛德華羅茨真空泵EH1200C 230/460V維修

英國愛德華羅茨真空泵EH1200C 230/460V維修 的詳細介紹

英國愛德華羅茨真空泵EH1200C 230/460V,3 相,60Hz,4hp

概述

防爆型機械增壓泵已經過鑒定,可以在潛在易爆氣體環境中使用。

EH1200C 機械增壓泵已經過鑒定,可用于 CSA Division 1 區域、氣體 Class I、Group C D 和灰塵 Class II Group F G、溫度 Class T3C。泵的溫度分類基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的臨界前級壓力下保持的泵出氣口壓力。

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。

防爆型機械增壓泵可能配備防爆型電機,或作為防爆型系統的一部分供貨。請咨詢 Edwards。英國愛德華羅茨真空泵EH1200C 230/460V維修?

應用

  • 半導體制程
  • 真空蒸餾
  • 真空包裝
  • 鋼脫氣
  • 薄膜覆層
  • 真空冶金
  • 低密度風洞
  • 空間模擬
  • 真空浸漬
  • 油干燥和脫氣
  • 制藥冷凍干燥
  • CO2 激光

a30556982 - EH1200C 230/460V,3 相,60Hz,4hp

EH1200C 230/460V,3 相,60Hz,4hp

A30556982

 

功能和優勢

  • 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。

  • 它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

  • EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:

    • 安靜的無振動運行。

    • 牢靠且防腐蝕。

    • 良好的軸封技術,處理艙中不會出現油污染英國愛德華羅茨真空泵EH1200C 230/460V維修?

  • 防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

  • 經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到低。

  • 軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

  • 動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是良好技術設備的制造商所需要的。

技術數據

容積(工作容積) 
50Hz1195 m3h-1/715 ft3min-1
60Hz1435 m3h-1/845 ft3min-1
使用后備泵時的有效抽取速度 
E2M80840 m3h-1/495 ft3min-1
E2M175930 m3h-1/548 ft3min-1
E2M2751020 m3h-1/601 ft3min-1
泵的壓差 † 
50Hz0-90 mbar/0-68 Torr
60Hz0-75 mbar/0-56 Torr
入口連接ISO160
出口連接ISO100
轉速 
50Hz0-2900 rpm
60Hz0-3500 rpm
連續入口操作壓力0-1000 mbar/0-760 Torr
大出口壓力1000 mbar/760 Torr
推薦的后備泵GXS160,GXS250,E2M80,E2M175
電源供給 
50Hz220-240V/380-415V
60Hz230V/460V
馬達功率 
碳氫化合物3kW/4hp
PFPE3kW/4hp
ATEX3kW
防爆型4hp
環境溫度范圍 
操作5 至 40°C/40 至 104°F
存儲-10 至 80°C/14 至 176°F
大操作濕度90% RH
推薦的冷卻水流量(入口溫度 20°C)*120 l h-1/0.53 gal min-1
推薦的冷卻水供應壓力*2-6 bar
冷卻水接頭*3/8 英寸 BSP 陽螺紋
推薦用油 
標準型Ultragrade 20
PFPE 版本Fomblin® YVAC 16/6
油容量 
齒輪箱1.25 升
聯結器箱2.4 升
軸桿封口儲油器0.125 升
重量**149 kg


* 在許多情況下,泵可在沒有冷卻水的情況下操作。是否適合 Edwards 請了解詳細信息。
** 重量請參考 IND 版本
†.取決于壓力

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